Электрохимические датчики строятся на основе материалов, имеющих значительную толщину оксидной защитной пленки (например, алюминий и титан). При этом поверхность материала покрывается тонким слоем золота (достаточно тонким, чтобы иметь поры), благодаря чему между золотой пленкой и основой материала возникает конденсатор, роль диэлектрика в котором выполняет оксидная пленка. Структура окиси алюминия такова. Что этот слой является пористым и впитывает пары воды, проникающие через отверстия золотого покрытия. Вследствие этого изменяется диэлектрическая постоянная и, следовательно, емкость конденсатора. Благодаря малой толщине оксида емкость конденсатора получается значительной (десятки-сотни пФ). Такой датчик имеет нелинейную характеристику и может использоваться в релейных системах.
